【時訊科普】什么是激光干涉儀?
?【時訊科普】什么是激光干涉儀?
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激光干涉儀是一種利用光干涉以極高的精度測量距離和形狀的設備。
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設備內置光源輸出的激光被稱為分束器的特殊鏡子分成兩束。一側直接照射到樣品表面,另一側在照射前經過分束器反射一次。
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此時,兩束激光之間的光程長度出現差異。當兩個波重疊時,干涉圖案會根據波的相位而變化。
由于干涉圖案根據光路長度而變化,因此它根據樣品的表面粗糙度而敏感地變化。
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因此,可以從干涉圖案分析樣品表面的形狀。
由于其測量精度高、非接觸性,被應用于工業領域、科學研究等各個領域。
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激光干涉儀的應用
激光干涉儀用于分析固體樣品的表面形貌。
例如,用于分析需要精確控制形狀的相機鏡頭和隱形眼鏡等鏡片的表面,以及測量DVD光盤和玻璃的表面形狀。
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它可以用于廣泛的領域,因為無論樣品的形狀如何,例如平面、球形或半球形表面,都可以使用它。
另一方面,由于外部振動、樣品表面波動和粗糙度的影響,測量結果容易出現波動,因此不常用于測量液體樣品或未拋光的樣品。