【時訊科普】硅晶片的生產工藝

?【時訊科普】硅晶片的生產工藝

生產過程中最重要的工藝是拋光晶圓片，此工藝在超凈間中進行。

超凈間從一到一萬分級，這些級數對應于每立方米空間中的顆粒數。

這些顆粒在沒有控制的大氣環境下肉眼是不可見的。

例如起居室或辦公室中顆粒的數目大致在每立方米五百萬個。

為了保持潔凈水平，生產工人必須穿能蓋住全身且不吸引和攜帶顆粒的潔凈服。

在進入超凈間前，工人必須進入吸塵室內以吹走可能積聚的任何顆粒。

硅晶片大多數生產型晶圓片都要經過兩三次的拋光,拋光料是細漿或者拋光化合物。

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